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光罩盒

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光罩盒Mask Package),意為儲存光罩的盒子,主要用于避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染[1]

分类

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  • 光罩運輸盒:由光罩製作廠運輸至晶圓廠間運輸用;
  • 光罩廠區內部運輸盒;
  • 光罩機台傳送盒:將光罩送入機台的盒子,針對特定的設備使用不同的傳送盒。其中包括非SMIF系統和SMIF系統。

參照

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参考文献

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  1. ^ 光罩載具. [2010-03-19]. (原始内容存档于2018-12-10).